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LFT1200C 440D50-2Z-HV90 CVD

文字:[大][中][小] 2022-7-27    瀏覽次數:79    

設備特點:該設備是由開啟式真空管式爐根據特殊工藝要求而設計的,其滑軌式結構設計在實驗過程中可滿足多種工藝要求,可將樣品直接推至實驗所需設定高溫區,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率,滿足工藝要求對升降溫要求較高的實驗,是一款性價比很高的產品,同時具有一定的可擴展性,比較適用于二維材料,碳材料的實驗要求。

一、技術參數:

額定功率:3kw

最高溫度:1200℃

工作溫度:1100℃

建議升溫速率:10℃/min(此為爐體本身的升溫速率,通過滑動加熱區可獲得更快的升降溫速率,溫差較大條件下可達10℃/S)

爐管:高純度石英管Φ50x1400mm

加熱區長度:440mm

恒溫區長度:200mm

控溫精度:±1℃

熱電偶:K型

管堵:石英管堵2個

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

尺寸: 1900*640*1320mm

操作界面:觸摸屏

滑動方式:手動

二、雙通道質量流量控制器MFC-2Z

參數:

連接頭類型:Φ6雙卡套不銹鋼接頭。

標準量程(N2):氫氣20sccm、氬氣2000sccm

準確度:±1.5%

線性:±0.5~1.5%

重復精度:±0.2%

響應時間:

氣特性:1~4 Sec

電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

最大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數字顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格   截止閥:Φ6

控制軟件:該系統采用觸摸屏為操作元件,PLC程序與流量計精準通訊,具有反應時間短,誤差小等優點。

三、 分子泵系統(萊寶)

分子泵型號:TURBOVAC 90i

抽速:N2 90L/S,  He 90L/S  H2 778L/S

前級泵型號:DIVAC 300

抽速:3m3/h

接口類型:DN63 ISO-K

電源:220V 50/60hz

環境溫度:5-32


 

 

 

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